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要点这些多层C-钯膜由具有不同钯和碳含量的许多层组成。基于扩散和成核的钯偏析的简单模型解释了层形成的机制。关于薄膜组合物的edx数据沿着一条薄膜横截面与模型计算一致。 膜对氢敏感。提出了用于氢感测应用的C-钯多层薄膜的制造方法和一些性质。通过蒸发富勒烯C60 )和乙酸钯,通过物理气相沉积PVD)方法获得C-钯多层膜。RM两个分离的来源。对使用聚焦离子束FIB)方法制造的样品进行横截面视线观察。 EDX光谱用于获得样品的元素深度组成的信息。发现钯和C浓度的深度调节是所有样品的特征。
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基于扩散和成核的钯隔离模型解释了该多层结构的一些特征。钯金多少钱一克回收所有研究的样品对氢敏感。钯金多少钱一克回收
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